气体传感器@@@@

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近日@@,韩国科学技术院@@(KIST)与三星电子合作开发了一款气体传感器@@@@@@,可以通过检测呼吸气体来诊断疾病@@。这款气体传感器@@@@可以有选择性地检测呼吸气体中所含有的与各种疾病相关的微量生物标志物气体@@,以对特定疾病进行实时监测@@。

MEMS气体传感器@@@@的设计与工艺@@

MEMS技术的进步@@,为气体传感器@@@@的集成化提供了坚实的基础@@,毋庸置疑@@,基于@@MEMS的设计方案将成为未来气体传感器@@@@的主要发展方向之一@@。目前@@,市场上以单晶硅材料为衬底@@,非硅材料为敏感层的@@MEMS气体传感器@@@@最为常见@@,今天就给大家介绍一下市场上常见的@@MEMS气体传感器@@@@类型@@。